La création de la Fédération MNT (FR 2542) répond à des enjeux scientifiques aussi bien que stratégiques

FMNT

CNRS-INPG-UJF-CEA-UdS

Fédération Micro- et Nano-Technologies (FMNT)

LTM/CNRS, 17 rue des martyrs (CEA-LETI), 38054 Grenoble cedex 09

Directeur : Olivier Joubert

Directeurs adjoints : Bernard Chenevier et Mireille Mouis

Contact : olivier.joubert@ cea.fr

Tel:04 38 78 49 14, portable: 06 18 14 37 61

 

La Structure

La FMNT est  une fédération de laboratoires au cœur de la recherche dans le domaine des Micro Nanotechnologies rassemblant 4 laboratoires de recherche académiques localisés sur le site MINATEC :

IMEP-LAHC: Composants et Circuits en MicroNanoélectronique, Hyperfréquences, Optoélectronique THz et Photonique

LMGP: Matériaux et de Génie Physique

LTM: Développement de technologies impliquées dans l’élaboration des nanocomposants

SPINTEC: Composants spintroniques fonctionnels innovants issus de la recherche amont et validation technologique

Equipe MEMS/G2Elab: µ-actionneurs & µ-générateurs,  µ-fluidique, µ-convertisseurs, composants de puissance intégrés

La FMNT rassemble 360 personnes dont 180 permanents du CNRS, de l’UJF, de l’INPG et de l’Université de Savoie et d’un nombre équivalent de  doctorants et post doctorants. Les thématiques abordées s’inscrivent dans le développement de filières innovantes où sont mis en jeu des compétences dans le domaine des matériaux, de la technologie, des composants nanoélectroniques et spintronique et les micro-nano systèmes. C’est un acteur de recherche amont au niveau mondial complètement intégré au tissu Européen, National, Régional et local.

Les chercheurs de la FMNT synthétisent et caractérisent  des matériaux fonctionnels à fort potentiel d’application et développent les technologies permettant d’intégrer ces matériaux dans  des Nano-composants. Plusieurs types de composants sont visés :  les filières microélectronique CMOS, les filières  « beyond CMOS » exploitant par exemple des nanofils à base de silicium ou des empilements de matériaux magnétiques permettant d’exploiter le spin de l’électron ou encore des filières permettant d’exploiter de nouvelles fonctionnalités dans le domaine de la photonique, de la RF et des microsystèmes magnétiques.

 

Les thèmes de Recherche

Une recherche fortement couplée à l’industrie- en partenariat étroit avec le CEA-LETI dans le domaine de la microélectronique

La FMNT travaille en étroite collaboration avec STMicroelectronics  pour développer les filières technologiques CMOS. Les chercheurs de la FMNT s’impliquent particulièrement dans la mise au point des techniques de miniaturisation (nanolithographie, nanogravure), développent de nouveaux matériaux à forte permittivité diélectrique,  caractérisent finement les phénomènes de transport dans les transistors CMOS de très petites dimensions et s’impliquent également dans la mise au point d’architectures innovantes de dispositifs. L’ensemble de ce travail est accompagné par une vingtaine de contrats de recherche et par une participation de la FMNT à de nombreux projets financés par la communauté Européenne (PULLNANO, More Moore) ou le ministère de l’industrie  (MEDEA+).  De nombreuses collaborations existent également avec les équipementiers de la microélectronique (Applied Materials USA, EVG Autriche..)

 

Pilotage de la plate-forme de technologie  (PTA) amont de Minatec

La plate-forme de recherche amont de Minatec est dédiée aux projets de recherche dans le domaine des Nanosciences et des Nanotechnologies. Elle est copilotée conjointement par l’Institut des nanosciences et de cryogénie du CEA (INAC) et la FMNT. Elle complète les plate-formes  200 et 300 mm du CEA-LETI en offrant à la communauté  des nanosciences la possibilité de traiter une large gamme de matériaux qui ne sont pas tous compatibles avec ceux utilisés en microélectronique, comme les polymères, les matériaux magnétiques, ou encore les matériaux biologiques et ce sur des substrats de taille différente.

 

Une recherche fortement ancrée dans les nanosciences et nanotechnologies

Depuis plusieurs années, la FMNT s’oriente vers la synthèse, la manipulation, la caractérisation de nanomatériaux et nano-objets (nanocristaux, nanofils, nanotubes, systèmes colloidaux) et leur intégration dans des dispositifs innovants où de nouvelles propriétés physiques, chimiques, optiques et magnétiques sont accessibles à l’échelle nanométrique. L’ensemble de ces recherches a pour cadre la PTA en partenariat étroit avec les équipes de l’INAC et l’Institut Néel et s’appuie également sur une plate-forme de caractérisation puissante regroupant l’ensemble des moyens des laboratoires.

 

 

Présentation FMNT : slides et rapport d’activités 2009