FMNT
CNRS-INPG-UJF-CEA-UdS
Fédération
Micro- et Nano-Technologies (FMNT)
LTM/CNRS,
17 rue des martyrs (CEA-LETI), 38054 Grenoble cedex 09
Directeur :
Olivier Joubert
Directeurs
adjoints : Bernard Chenevier et Mireille Mouis
Contact : olivier.joubert@
cea.fr
Tel:04 38
78 49 14, portable: 06 18 14 37 61
La Structure
La FMNT est une fédération de laboratoires au cœur de la recherche dans le domaine des Micro Nanotechnologies rassemblant 4 laboratoires de recherche académiques localisés sur le site MINATEC :
IMEP-LAHC: Composants et Circuits en MicroNanoélectronique,
Hyperfréquences, Optoélectronique THz et Photonique
LMGP: Matériaux et de Génie Physique
LTM: Développement de technologies impliquées dans
l’élaboration des nanocomposants
SPINTEC: Composants
spintroniques fonctionnels innovants issus de la recherche amont et validation
technologique
Equipe
MEMS/G2Elab: µ-actionneurs &
µ-générateurs, µ-fluidique,
µ-convertisseurs, composants de puissance intégrés
La
FMNT rassemble 360 personnes dont 180 permanents du CNRS, de l’UJF, de l’INPG
et de l’Université de Savoie et d’un nombre équivalent de doctorants et post doctorants. Les
thématiques abordées s’inscrivent dans le développement de filières innovantes
où sont mis en jeu des compétences dans le domaine des matériaux, de la
technologie, des composants nanoélectroniques et spintronique et les micro-nano
systèmes. C’est un acteur de recherche amont au niveau mondial complètement
intégré au tissu Européen, National, Régional et local.
Les chercheurs de la FMNT synthétisent et caractérisent des matériaux fonctionnels à fort potentiel d’application et développent les technologies permettant d’intégrer ces matériaux dans des Nano-composants. Plusieurs types de composants sont visés : les filières microélectronique CMOS, les filières « beyond CMOS » exploitant par exemple des nanofils à base de silicium ou des empilements de matériaux magnétiques permettant d’exploiter le spin de l’électron ou encore des filières permettant d’exploiter de nouvelles fonctionnalités dans le domaine de la photonique, de la RF et des microsystèmes magnétiques.
Les thèmes de
Recherche
Une recherche fortement couplée
à l’industrie- en partenariat étroit avec le CEA-LETI dans le domaine de la
microélectronique
La FMNT travaille en étroite collaboration avec STMicroelectronics pour développer les filières technologiques CMOS. Les chercheurs de la FMNT s’impliquent particulièrement dans la mise au point des techniques de miniaturisation (nanolithographie, nanogravure), développent de nouveaux matériaux à forte permittivité diélectrique, caractérisent finement les phénomènes de transport dans les transistors CMOS de très petites dimensions et s’impliquent également dans la mise au point d’architectures innovantes de dispositifs. L’ensemble de ce travail est accompagné par une vingtaine de contrats de recherche et par une participation de la FMNT à de nombreux projets financés par la communauté Européenne (PULLNANO, More Moore) ou le ministère de l’industrie (MEDEA+). De nombreuses collaborations existent également avec les équipementiers de la microélectronique (Applied Materials USA, EVG Autriche..)
La plate-forme de recherche amont de Minatec est dédiée aux projets de recherche dans le domaine des Nanosciences et des Nanotechnologies. Elle est copilotée conjointement par l’Institut des nanosciences et de cryogénie du CEA (INAC) et la FMNT. Elle complète les plate-formes 200 et 300 mm du CEA-LETI en offrant à la communauté des nanosciences la possibilité de traiter une large gamme de matériaux qui ne sont pas tous compatibles avec ceux utilisés en microélectronique, comme les polymères, les matériaux magnétiques, ou encore les matériaux biologiques et ce sur des substrats de taille différente.
Une recherche fortement
ancrée dans les nanosciences et nanotechnologies
Depuis
plusieurs années, la FMNT s’oriente vers la synthèse, la manipulation, la caractérisation
de nanomatériaux et nano-objets (nanocristaux, nanofils, nanotubes, systèmes
colloidaux) et leur intégration dans des dispositifs innovants où de nouvelles
propriétés physiques, chimiques, optiques et magnétiques sont accessibles à
l’échelle nanométrique. L’ensemble de ces recherches a pour cadre la PTA en
partenariat étroit avec les équipes de l’INAC et l’Institut Néel et s’appuie
également sur une plate-forme de caractérisation puissante regroupant
l’ensemble des moyens des laboratoires.